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簡(jiǎn)要描述：晶圓烘箱適用于對(duì)加熱中需要氮?dú)獗Ｗo(hù)或?qū)ρ鹾亢蜐崈舳扔休^高要求的產(chǎn)品及材料在恒溫或階梯溫度下進(jìn)行預(yù)熱、老化、烘烤、固化、淬火等工藝以及恒溫適應(yīng)性試驗(yàn)
產(chǎn)品型號(hào)：CTCO廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2025-10-10訪(fǎng) 問(wèn) 量：1394產(chǎn)品分類(lèi)CLASSIFICATION
詳細(xì)介紹
| 品牌 | 愛(ài)義信 | 加熱方式 | 不銹鋼無(wú)塵加熱器 |
|---|---|---|---|
| 內(nèi)膽材質(zhì) | 鏡面不銹鋼 | 內(nèi)膽尺寸 | W800*D600*H1000mmcm |
| 外形尺寸 | W1300*D900*H1800mmmm | 溫度波動(dòng) | ±0.5℃℃ |
| 溫度范圍 | RT+10~350℃℃ | 價(jià)格區(qū)間 | 8千-1.5萬(wàn) |
| 儀器種類(lèi) | 精密烘箱 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車(chē)及零部件,電氣 |
晶圓烘箱外觀結(jié)構(gòu)：
★外殼采用A3冷軋鋼板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防銹處理后烤漆，工作室采用SUS304#潔凈不銹鋼板滿(mǎn)焊、耐高溫密封處理
★工作室內(nèi)百級(jí)，采用進(jìn)口 H14耐高溫高效過(guò)濾器，過(guò)濾率0.3μm粒子99.995％以上
★隔熱層采用120mm厚100K高密度硅酸鋁纖維保溫材料，表面溫度＜45℃
★門(mén)框密封采用無(wú)氟硅橡膠密封條，耐高溫，抗老化
★隔板可調(diào)整高度及增減數(shù)量
晶圓烘箱風(fēng)路系統(tǒng)：
★采用密封內(nèi)循環(huán)風(fēng)路，減少氮?dú)庀?/span>
★采用倒U型風(fēng)道結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，箱內(nèi)兩側(cè)單向水平送風(fēng)，風(fēng)道倉(cāng)內(nèi)強(qiáng)壓送風(fēng)
★特殊可調(diào)導(dǎo)風(fēng)板設(shè)計(jì)，保障工作室內(nèi)送風(fēng)均勻
★大功率三相異步耐高溫長(zhǎng)軸馬達(dá)，不銹鋼渦輪扇葉（出廠動(dòng)平衡調(diào)整）結(jié)合不銹鋼蝸牛殼結(jié)構(gòu)結(jié)合兩側(cè)不銹鋼沖孔風(fēng)板，風(fēng)力強(qiáng)勁，送風(fēng)均勻，平穩(wěn)，工作噪音<65dB
溫控系統(tǒng)：
★不銹鋼無(wú)塵加熱器，潔凈無(wú)塵
★PLC+7寸彩色觸摸屏，HMI人機(jī)交互系統(tǒng)，中文操作界面，全自動(dòng)程序運(yùn)行模式， PID智能演算，自動(dòng)恒溫，超溫保護(hù)，傳感器斷線(xiàn)保護(hù)，斷電記憶功能，帶氧含量、溫度值，工作狀態(tài)（排氧、維持、加熱、電磁閥、及故障等）監(jiān)控界面、程序設(shè)定界面、歷史曲線(xiàn)界面、歷史數(shù)據(jù)功能，可通過(guò)USB導(dǎo)出數(shù)據(jù)，搭配PC端溫度數(shù)據(jù)處理軟件
★采用導(dǎo)軌式智能AI溫度控制模塊，控溫精度0.1級(jí)，自動(dòng)恒溫，智能PID演算，帶30段程序升溫，帶傳感器斷線(xiàn)警報(bào)，AT自整定，超溫控制，斷電記憶功能，控溫準(zhǔn)，穩(wěn)定性好
★高精度PT100不銹鋼鎧裝鉑金電阻溫度傳感器
安全系統(tǒng)：
★按鍵鎖
★超溫保護(hù)
★電流過(guò)載保護(hù)
★漏電保護(hù)
★接地保護(hù)
規(guī)格參數(shù)：
| 設(shè)備型號(hào) Model | CTCO-180(A/B) | CTCO-270(A/B) | CTCO-480(A/B) |
| 控溫范圍 Operating Temp. Range | RT+10~350℃ | ||
| 溫度分辨率 Temperature resolution | 0.1℃ | ||
| 溫度波動(dòng)度 Control stability | ±0.5℃ | ||
| 溫度均勻度 Temperature uniformity | ±1.5℃（ａｔ100℃ 恒溫空載狀態(tài)下） ±2.5℃（ａｔ200℃ 恒溫空載狀態(tài)下） ±3.5℃（ａｔ300℃ 恒溫空載狀態(tài)下） ±5.0℃（ａｔ350℃ 恒溫空載狀態(tài)下） | ||
| 潔凈度 Cleanliness | 百級(jí) Class100/ 千級(jí) class1000 | ||
| 高效過(guò)濾器 HEPA | H14耐高溫高效過(guò)濾器，過(guò)濾率0.3μm粒子99.995％以上 | ||
| 氧含量 Oxygen content | <20ppm | ||
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